应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响,超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。
水汽捕集泵的工作原理:将一个能到-130℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60—90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8Torr、10ˉ5Pa)。
实际应用:
主要适用于物理(化学)气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
1、水汽捕集器:
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、低温冷阱:
放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装或者同时安装。
主要性能特点:
1.快速吸附水、油蒸汽、可缩短抽气时间60—90%
2. 提高你现有真空系统的生产能力20%到100%
3. 改善镀膜的质量,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力
2.降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,最低可到-150℃
3. 2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温
4.一台设备可设计两路负载输出
5.进口压缩机,环保混合型制冷剂
6.具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示
7.当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷
8.压缩机排气过高、压力过高保护
主要零部件产地:
1.压 缩 机: 美优乐(进口)
2.压力继电器: 丹 麦 DANFOSS
3.干燥过滤器: 丹 麦 DANFOSS
4.压力控制器: 丹 麦 DANFOSS
5.电 磁 阀: 丹 麦 DANFOSS
6.温度继电器: 德 国 LR
7.中间继电器: 日 本 OMRON
8.温度 控 制: 日 本 理化RKC
技术参数:
型号:TH-145-7P
压缩机功率:6.3KW
工作温度:-120℃至-150℃
抽气速度:73000L/s,
制 冷 量:1200W
冷凝管面积:0.5m2
冷凝管长度:12m直径12mm
预冷时间:小于等于30min,
降温时间:小于等于3min
除霜时间:小于等于3min
再降温时间:小于等于3min,
适用油扩散泵径:小于等于800mm
冷却方式:水冷(t≤20度)
型号:TH-145-10P
压缩机功率:8.5KW
工作温度:-120℃至-150℃
抽气速度:101000L/s,
制 冷 量:1800W
冷凝管面积:0.7m2
冷凝管长度:14m直径16mm
预冷时间:小于等于30min,
降温时间:小于等于3min
除霜时间:小于等于3min
再降温时间:小于等于3min,
适用油扩散泵径:小于等于1000mm
冷却方式:水冷(t≤20度)
型号:TH-145-12P
压缩机功率:10.1KW
工作温度:-120℃至-150℃
抽气速度:153000L/s,
制 冷 量:2500W
冷凝管面积:0.9m2
冷凝管长度:18m直径16mm
预冷时间:小于等于40min
降温时间:小于等于4min
除霜时间:小于等于3min
再降温时间:小于等于6min,
适用油扩散泵径:双路输出
冷却方式:水冷(t≤20度)
型号:TH-145-15P
压缩机功率:12.3KW
工作温度:-120℃至-150℃
抽气速度:250000L/s,
制 冷 量:3500W
冷凝管面积:1.5m2
冷凝管长度:30m直径16mm
预冷时间:小于等于40min,
降温时间:小于等于5min
除霜时间:小于等于3min
再降温时间:小于等于6min
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