本设备适用于LED外延片去光阻清洗工序。;
设备型号:CSE-SLXJ23;
花篮:圆形2″花篮,25片/篮,1篮/批;
传送方式:人工传送;
主要材料:德国进口10mm瓷白PP板机壳,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;
DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18M去离子水水质要求,酸碱管路材质为进口PFA/PVDF;
采用国际标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成
硅圆片去 光 阻 清 洗 机
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硅圆片去 光 阻 清 洗 机
详细信息 本设备适用于LED外延片去光阻清洗工序。;
设备型号:CSE-SLXJ23; 花篮:圆形2″花篮,25片/篮,1篮/批; 传送方式:人工传送; 主要材料:德国进口10mm瓷白PP板机壳,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐; DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18M去离子水水质要求,酸碱管路材质为进口PFA/PVDF; 采用国际标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成 |