4.2 上料工位
4.3 超纯水淋洗槽
4.4 酸腐蚀槽
4.5 超纯水清洗槽
4.6 酸腐蚀槽
4.7 超纯水快排清洗槽
4.8 超声清洗槽
4.9 纯水煮沸槽
4.10 氮气切水槽
4.11 下料工位
4.12 传送机械臂
4.13 清洗篮
4.14 电气控制部分
硅芯清洗机
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