设备主要技术参数
槽数：2个PVDF HF腐蚀槽，2个PP喷淋槽，1个PP洗手槽
氮气枪、水枪各1套；
清洗硅片尺寸：Φ6英寸；
包板材料：德国进口盐白PP板材；
电气功率：单相220V AC，10KW；
纯水进水接口口径：2-25A（CPVC材质），80L/min以上；
氮气供给：接口口径2-Φ6，100L/min以上；
压缩空气供给：接口口径2-Φ10mm ，1000L/min以上；
层流罩规格：百级，3.9x0.45m²,风速0.2~0.3 m/s；
PLC控制，触摸屏操作，声光提示，错误报警。
腐蚀台设备