· 新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的最强大的X射线管。提高30%测量精度，同时减少50%测量时间
· 更小的X射线光斑尺寸 - 新增15mil直径准直器，可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置，同时提供更高精度的Y轴控制。
· 距离独立测量（DIM） - 更灵活地特殊形状样品，可在DIM范围内12.5-90mm（0.5-3.5inch）对样品表面进行测量，Z轴可控制范围为230mm（9inch）。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。
· 自动镭射聚焦 - 自动寻找振决的聚焦距离，改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。
· 全新的大型样品室 - 更大的开槽式样品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。
· 3种样品台选项 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制（250x250mm或10x10英寸）/固定样品台；标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。
· 内置PC用户界面
X-STRATA960荧光镀层厚度测量仪