空气压力控制式主动隔振系统MAPS系列 小型却可以除去全自由度方向的振动
明立精机MAPS系列的主动隔振系统是将垂直用和水平用的气压启动器集结到小型单体的组合式模型。同时使用4个同样单体便可以对全自由度方向的振动发挥出优越的隔振性能，制振性能及定位性能。可以除去被动隔振所无法除去的频带域上的振动
被动隔振常常会遇到由系统固有振动所引起的共振问题。主动隔振除了可以消除共振现象以外，还可以除去在此频带域上的振动。例如，对于被动隔振所不太在行的 2Hz附近低频振动，主动隔振可以将振动减小至被动隔振的1/30至1/100。标准MAPS可以为10吨以上的承载装置隔振
近来随着机能的充实，精密器械越来越趋向于大型化。总重量超过10吨以上的装置已经被开发出来了。装置的大型化导致固有频率的降低，从而使至今几乎没成为问题的低频振动也会成为问题。这也是为什么精密器械需要低频隔振性能优越的主动隔振系统的理由之一。承载运转载物台也不会有振动
在由柔软弹性体支撑而实现隔振效果的被动隔振装置上放上X-Y载物台等运转装置时，整个系统会产生较大的摇动反而会使振动加大。主动隔振是通过反馈控制使装置保持静止状态而达到减振的目的。另外，事先根据载物台运转的信号输出，通过输入将振动抑制到最小的反馈控制，便可以实现几乎没有振动的环境。MAPS在定位精度及保持水平精度方面也很优越
装置越大，倾斜就越成问题。由于装置自身很重，倾斜会带来由自重而引起的弯曲从而对精度产生极大的影响。MAPS也将水平精度调节包含在控制过程，从而防止了倾斜且保证了水平精度。另外，MAPS在定位精度方面的控制可以使芯片或液晶板的交接得以顺利实施。MAPS是小型且易使用的组合体
MAPS系列是为了方便与承载装置组合而将所需的全部功能集结至小型组合体的隔振装置。只要为MAPS的安装确保所需的空间，你便可以得到所需的隔振效果。MAPS系列的控制系统非常安定。它不仅可以使用于公司内部设备的使用，而且可以安心地用于销售给客户的产品之中。MAPS是构成精密器械的重要部分之一
至今，大多客户是由于担心振动而使用隔振装置的。可是随着精密器械高精度化，高功能化和大型化的进展，若不使用隔振装置来消隔振动的影响的话，精密器械就不能按照产品说明书上写的那样正常地发挥其性能。因此，隔振装置不止是精密器械的附带装置，而且是构成精密器械及发挥精密器械性能的不可缺少的重要组成部分。在装置开发开始时就请与我们联系
MAPS将隔振所需要的功能全部集结至小型组合体。因此，不需要象从前那样地为安装隔振装置而保留很大的空间。当然，MAPS在装置开发后也可以进行安装，但会有很多限制条件产生。无论从隔振性能或费用来讲，装置开发后的安装并不是最佳方案。在装置开发阶段就应以MAPS装入进去的状态进行台架及框架的设计。这样不仅可以有效地利用空间也可以将MAPS安装在使隔振性能达到最佳的有利位置。
因此，在开始设计开发精密器械时就将MAPS的安装也同时考虑在内的话，便可以使振动环境达到更优化的状态。 MAPS系列标准型的主要规格
型号 MAPS-008 MAPS-016 MAPS-033 MAPS-065 MAPS-130 MAPS-240
可乘载的重量 [kN]
([kgf]) 4 - 8
(400 - 800) 8 - 16
(800 - 1600) 16 - 33
(1600 - 3400) 33 - 65
(3400 - 6600) 65 - 130
(6600 - 13300) 130 - 240
(13300 - 24500)
机体尺寸 WxDxH [mm] 235x235x130 295x295x140 350x350x150 450x450x190 600x480x190 700x600x267
1个组装体的机体重量 [kg] 13 42 63 110 180 230
供给空气压 [MPa] 0.6 - 0.8
稳态空气消费量 [l/min] 45 - 65 120 - 170
最大空气消费量 [l/min] 120 300
电源电压 [V] 100 - 240 (AC, 50/60Hz)
额定消费电力 [W] 400 450
定位精度 [mm] 0.001 - 0.050
控制轴数量 <=6
精密隔振平台