IbeX波谱仪尺寸紧凑，能与几乎所有的扫描电镜匹配。在对灵敏度，分辨率和峰背比要求严格的情况下，是对能谱仪的完美补充。IbeX较全聚焦波谱技术的固体角增大一个量级，但成本低得多。
硬件和电子学线路
多元素波谱仪，可分析多至6元素的通用晶架，流气正比计数器和电子学线路，IbeX马达和控制系统。
软件
能谱图中重叠峰的高分辨鉴定采谱，贮存和调出谱数据，自动峰鉴定，KLM标记，报告打印，定量分析和人工校正。WINDOWS 视窗操作系统。
可单独订购或者和X-射线微区分析系统一起订购。定量分析需用束流计
IbeX波谱仪