实现微表面形状与物性等的3D观察测定
Nano Search显微镜 SFT-4500
日本岛津制作所于6月3日推出Nano Search显微镜「SFT-4500」,该产品是岛津制作所与奥林帕斯株式会社共同开发销售的Nano Search ®显微镜的后续机型。本产品由双方公司销售,奥林帕斯株式会社以Nano Search显微镜「LEXT OLS4500」的产品名同时开始销售。
Nano Search显微镜是集光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜(SPM: Scanning Probe Microscope)*1于一身的复合型装置,可以使用光学显微镜激光显微镜实施从毫米区域到微米区域的观察,特定目标部位后,可靠地进行SPM观察。SPM不仅可以进行从微米到纳米*2区域的三维(3D)观察,还可以同时获得电位、电流、粘弹性等表面物性。
比如,进行材料表面的形状测定时,无需重新上样就可以使用1台装置无缝实施多种观察与最优倍率下的测定。实现了金属、半导体、高分子、粉体、生物材料等各种样品从毫米单位到纳米水平的3D观察测定。
*1 将微探针靠近目标样品表面,可以进行超微纳米区域的观察与测定。
*2 纳米:1x10 -9米=10亿分之1米。
【开发背景】
近年来,伴随着便携信息终端、产业机械、功能性材料的小型化、高性能化,严密的质量管理、故障解析的重要性越来越高,这就需求可以高可靠性地测定表面形状、落差、表面精细度的三维形状测定装置。
必须进行微表面形状观察测定的领域越来越多,包括汽车、高功能材料等各种领域。即使在研究开发领域,不仅对于金属、半导体等硬样品,而且对于树脂、触媒、薄膜、生物体等软样品都迫切需求实施纳米水平的观察。观察样品也日趋多样化,放置形状的样品,有粘着性的样品等。人们高度期待能够在从研发到临近产品生产阶段的所有部门都可使用的显微镜。
Nano Search显微镜是能够以低倍~超高倍率观察?测定3维表面形状与物性的显微镜,越来越广泛地应用于产业以及学术研究领域。为满足用户希望实现更高精度、更宽范围测定观察的要求,开发了Nano Search显微镜的后续机型。
【本产品的重要特长】
1.采用新开发的小型SPM头降低噪声
本产品采用安装于电动物镜转换器上的物镜型SPM头,可以同轴、同位置地切换物镜与悬臂前端。因此,转移到SPM观察之时,不会丢失观察点。新开发的小型SPM头提高了刚性,较以往产品,图像噪声降低,跟踪性能提高。
2. 在更宽的区域实现高分辨高精度的测定
为了观察较大的区域,通常采用低倍率观察。但低倍率下,图像分辨率有限。为进行微区高分辨率观察,SFT-4500采用最多可粘接625枚高倍率观察图像的拼接功能,实现宽区域的高分辨观察、高精度测定。
3. 配备自动采集3D图像等功能,追求简便性,即使初学者也轻松掌握操作
过去采集激光显微镜3D图像时,必须进行复杂的设定(亮度、上限、下限位置),利用此次新配备的智能扫描功能,只需单击便可轻松采集3D图像。并且,追求操作简便性,配备导航等功能,可以从更宽的视野图像自由自在地设置SPM观察视野,即便是初学者也可以获得与熟练者一样的测定结果。
4. 能够以约2倍于以往机型的速度获得3D图像
利用新配备的超高速模式,可以高速获得3D图像,采集速度是过去高速模式下的约2倍、高精细模式下的约9倍。可望实现快速的形状观察测定,提高检测效率。
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