仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量气体分析仪 彻底改变了半导体行业中的超高纯气体分析
通过引进最先进的气体传感技术和信号处理方法, 仕富梅新的SERVOPRO NanoChrome彻底改变了超高纯气体的超痕量纯度测量。
专为半导体生产中处于超痕量水平的杂质气体和烃类测量而设计，NanoChrome在一定范围的常见背景气体包括氦气，氢气，氮气，氩气和氧气的存在下，可以对氢气，甲烷，一氧化碳，二氧化碳和非甲烷烃类提供良好稳定的sub-ppb级测量。其结果是分析仪不仅提供优于传统火焰点火检测器(FID)和还原气体检测(RGD)技术的众多测量和性能优势，而且提供实际性的成本和安全效益，是依靠气体最高纯度维持产品质量的客户先前无法达到的。
卓越的NanoChrome采用由仕富梅特别开发的一种创新高灵敏度的等离子体发射探测器(PED)从而能够提供超低检测限度。已通过氩气和氮气的超痕量测量测试，扩展的测量波长使测量H2, CH4, CO 以及CO2以及直链烃的测量无需甲烷转化器。由于无需可燃气体，仕富梅PED传感器增加了安全性，同时降低了运营成本。
NanoChrome利用先进的信号复苏技术增强了分析灵敏度和可靠性，采用专门研制的可调色谱滤波方法和ProPeak色谱峰检测技术，来进行比先前超高纯气体更敏感的和更具有选择性的测量。仕富梅的直接分析方法，使得对FID和RGD测量特殊精度的疑虑烟消云散。
结合ServomexDF - 500超痕量分析仪系列和DF- 700微量水分析仪系列，仕富梅现在能为半导体行业提供单一、完整的可靠超高纯气体分析解决方案, 支持全球网络销售、服务和维护,仕富梅是目前唯一为所有超高纯气体纯度测量提供完整解决方案的气体分析制造商。
仕富梅集团有限公司董事Chuck Hurley指出，“SERVOPRO NanoChrome是对超高纯气体杂质测量的重大突破，因为仕富梅运用全新的方法应对超高纯气体客户的需求：通过单一分析仪提供更灵活、准确、可靠的测量，从而提供即时的性能、成本和安全效益,”。
“一旦了解用户的真正需求，仕富梅研发团队就采用了一种全新的方法开发超高纯气体传感技术。他们不仅彻底改进了PED传感技术，而且在创新ProPeak处理技术过程中，我们开发了新方法来解释和处理数据。使超高纯气体分析有了真正的飞跃—我们确定这将对半导体行业产生积极的影响。”
