电子工业中,生产单晶硅半导体材料、二极管、三极管、集成电路、光、硬盘、显象管时,都需要达到电子级标准的工艺用水,在我国,电子级水共分五个级别,部分指标如下:
指标 级别 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ EW-Ⅴ
电阻率
MΩ.cm(25℃) 18
90%时间最小17 15
90%时间最小12 10
90%时间最小8 ≥2 ≥0.5
大于1μm微粒数,最大值,个/ml 1 5 10 100 500
大于0.5μm微粒数,最大值,个/m 100 300 500 1000 2000
细菌个数,最大值,个/ ml 1 5 10 50 100
总有机碳含量,最大值 50 100 200 1000 5000
二氧化硅总含量,最大值 2 20 50 100 1000
电子级水基本制水流程如下:
原水 预处理 反渗透 混床 UV MF
我司从事高纯水、超纯水设备的生产有多年历史,可按用户的需求提供达到电子级别用水的生产线。
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