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净化纯水设备
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超声波清洗设备
Tft-lcd 基板清洗设备
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发货期限:
自买家付款之日起
天内发货
所在地:
全国
有效期至:
长期有效
最后更新:
1970-01-01 08:00
浏览次数:
198
公司基本资料信息
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
通过认证
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地区
全国
地址
苏州工业园区若水路398号
详细说明
整套设备由上下料装置,传送装置,干洗部分紫外光化学清洗舱(UV单元)和湿洗部分(药液喷淋舱,刷洗,高压喷淋,超声波清洗,风刀)综合组成,清洗流程设计为1药液喷淋(弱碱,附加DIW自清洗功能)-2药液刷洗(弱碱或者中性)-3超声波-4二流体喷淋(高压)-5兆声波(频率率百万赫兹以上)-6超纯水喷淋清洗-7风刀干燥-8紫外单元。设备每个部分能够单独控制;1单元前以及2,3单元间必须配备风刀液切单元,防止废气泄露以及单元间相互污染
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