整机结构组成 :机台、操作台面、槽体、机械臂、药液温度控制系统、CDS自动配酸系统、沉淀储酸系统、过滤系统、排风、电气控制系统等组成。
2)槽体包括:蚀刻槽,QDR槽,烘干槽,储酸槽,混酸槽。
3)可清洗的工件尺寸:≤1900*2200mm
4)可清洗的工件批量:20片/每批
5)设备配置PFA材料的水气枪各两把。
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