Pfeiffer 普发磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在 1400-2800l/s 的磁悬浮涡轮分子泵. ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体, 镀膜和离子刻蚀等行业.
Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 优点
1. 清洁无油, 大抽速
2. 免维护低成本保养费
3. 涡轮分子泵极低的噪音和震动
4. 可任意角度安装
P
feiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技术参数
|
分子泵型号 |
分子泵连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最高启动压强hPa |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
ATH 1600 MT |
250 |
40 |
1,400 |
970 |
540 |
> 1X108 |
1.7 |
< 6X10–9 |
67 |
6 |
42 |
|
ATH 2300 MT |
250 |
40 |
2,150 |
1,800 |
1,100 |
> 1X108 |
2.9 |
< 6X10–9 |
67 |
8 |
68 |
|
ATH 2800 MT |
250 |
40 |
2,200 |
2,400 |
1,550 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
ATH 3200 MT |
320 |
40 |
2,800 |
2,500 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
320 |
40 |
1,950 |
2,050 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
37 |
8 |
60 |
|
MT 型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制. 其自带加热系统和水冷系统同时作用, 可以确保泵的工作温度相对恒定 (最高工作温度75°C), 同时最小化过程化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积.
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
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