4000A（400nm）栅极氧化固态剂量计

4000A（400nm）栅极氧化固态剂量计
技术要求
典型数值在27°C
氧化层厚度4000A 
辐射Vth灵敏度
辐射场= 0.125 MV/cm : 灵敏度 = 0.25mV/rad 
辐射场= 0 MV/cm : 灵敏度 = 0.18mV/rad 
(灵敏度在 1.5 krad(H2O)，在以下读写器的配置中使用一个恒量10µA) 
温度补偿 
TVTC 6.4mV/°C
(该数据出自温度27°C-100°C线性模式中的外推Vtp数值.) 
线性模式中Z.T.C. 数值 ~ 1.85µA
(Vs=Vb=0, Vds=-0.1) 
饱和模式中Z.T.C.数值 ~ 20µA
(使用以下读写器电路配置) 
预辐射剂量计的特点
阈值电压（外推） -6.9 +/- 0.3V
Vth漂移时间（秒） 1.5mV/十年
(该数据出自读写器配置强迫40µA，两个中有一个因子会增大)
氧化层击穿电压>75V 
沟道漏电流 Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 2 pA 
亚阈值斜率240 +/- 20 mV/十年
沟道电阻 Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.84 Mohms 
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