光学轮廓仪

光学轮廓仪 NT9100
 
Wyko NT 9100光学轮廓仪是一款便捷的、精确的、实用的非接触三维形貌测量系统。作为第九代系统，它采用已申请专利的双光源照明技术，同时实现了对超光滑表面和粗糙表面进行非接触表征，应用范围涵盖了亚纳米量级粗糙度测量到毫米尺度台阶高度测量。作为行业内最值得信赖的及重现性最好的桌面式机台，NT9100可满足研发、磨损分析、失效分析及工艺控制等领域的需求。
作为NT 9000光学轮廓仪系列的台式型号，NT9100具有许多和大型机台一样的优点，包括：测量设置简单易学，高速数据采集能力，强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度。可选配的X-Y自动样品台使NT9100实现程序化，这是在Wyko桌面式轮廓仪系列的首次应用。
 
NT9100的量测性能与其他NT9000系列产品相当，但其较小的尺寸及灵活的配置为用户将来的发展提供了基础。系统包含了完整版的Vision分析软件，该软件是行业内功能最全的分析软件，可实现二维和三维的数据分析及可视化功能。Vision软件为用户提供了200余种分析工具，包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准。用户采用可选的MATLAB® 软件包还可以定制专门的数据分析用户界面。

光学轮廓仪 NT9300
 
Wyko NT9300光学轮廓仪是最新系列中的一款具有自动化功能的光学轮廓仪，可实现最便捷的高速表面形貌测量。该系统的测量设置简单易学，即可满足最基本的检测，也可根据客户制定的产品合格/不合格判据数据库并利用其全自动XYZ样品台进行量测。
 
NT9300采用Veeco最新的第九代光学轮廓仪传感技术，同时可针对大尺寸样品、缝合的及不规则的样品实现大范围扫描（垂直方向最高可达10mm）。采用Veeco已申请专利的双-LED光源技术，系统可满足任何测量范围的光学需求。电动化XYZ样品台及独特的基于头部的俯仰/倾斜功能使任何使用水平的操作者都可以很容易地进行样品安装，调试。
 
行业领先的Wyko Vision软件提供200多种分析工具，包括自动序列测量和数据记录功能。可选的数据分析包有膜厚分析软件（针对100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地实现自动化，MATLAB界面可使工程师自行编程及整合用户分析算法。
 
结合了创新设计的硬件及强大功能的软件，NT9300是一款生产监控及工艺研制周期中不可或缺的理想工具。

光学轮廓仪 NT9800
 
Wyko NT9800是目前功能最强大的光学轮廓仪，可快速地测量台阶高度、表面粗糙度及一系列形貌参数。作为Veeco行业领先的第九代NT系列产品线的最高端产品，NT9800可对0.1nm至10毫米尺寸进行非接触式三维测量，并具有纳米量级的垂直分辨率。
 
具有定标功能的NT9800能够协助产前工艺及满足产品开发的需要，并可作为一个向量产过渡地稳定的，可靠的平台。采用Veeco独有的内部参考激光将测量的标准台阶上的偏差降低到最小，同时可弥补自环境或机械不稳定性造成的系统飘移。NT9800将最强大的测量核心技术、全自动化功能、大于十年以上的量产支持体系，及使用简便的界面集于一身，已成为要求苛刻的科学研究及生产实践的最佳选择。
 
行业领先的Wyko Vision软件有超过200种的数据分析工具，包括自动序列测量、数据记录及及时反馈和SPC的合格/不合格标准评判。可选的数据分析包有膜厚分析软件（针对100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地实现自动化，MATLAB界面可使工程师自行编程及整合用户分析算法。
 
NT9800光学轮廓仪是一款操作简便、目前最高端的光学轮廓仪。