规格参数:1. 单面镀膜硅片:Si基底,厚度:200µm,框架Ø3mm,双面均有50nm氮化硅薄膜;
2. 亲水性硅片:Si基底,厚度:200µm,框架Ø3mm,双面均有50nm氮化硅薄膜;氮化硅薄膜上还镀有5nm的亲水性氧化铝薄膜;
3. 疏水性硅片:Si基底,厚度:200µm,框架Ø3mm,双面均有50nm氮化硅薄膜;氮化硅薄膜上还镀有5nm的疏水性薄膜;
4. 普通硅片:Si基底,厚度:200µm,框架Ø3mm;
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