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TEM用氧化硅薄膜窗

 
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所在地: 全国
有效期至: 长期有效
最后更新: 1970-01-01 08:00
浏览次数: 168
 
公司基本资料信息
详细说明
 
 
  
名称:氧化硅TEM窗口 
编号:氧化硅 
产品详情:
透射电镜(TEM)用氧化硅薄膜窗格
 
 
氧化硅与氮化硅薄膜窗格比较:
相比氮化硅薄膜,氧化硅薄膜更适合用于含氮样本。在EDS研究中,如基片薄膜含氮,则会与样本造成混淆。


样本安置面:
对多数用户来说,样本应安置在薄膜窗格的“覆膜面”而非“蚀坑面”。但我们也知道在一些特殊情况下,蚀坑面也可安置样本。除对样本进行原子力显微镜(AFM)观测外,蚀坑面本质上并非不可用于放置样本。实际上,没有一个显微镜的悬臂可以伸至蚀坑内“看清”薄膜表面。 
 
 
氧化硅薄膜窗特点:
 
清洗:采用等离子清洗,无有机物残留,改善成像质量; 
均匀性:减少了不同区域的不均匀性; 
稳定性: 耐高温,>1000℃; 
良好的化学稳定性:图像分辨率和机械强度达到理想的平衡;
化学计量比的SiO2:可用于氮气环境下的EDX分析;
 
氧化硅薄膜窗规格
 
窗口类型 薄膜厚度 窗口尺寸 框架尺寸 框架厚度 
 20nm 2x1阵列,100X1500µm Φ3mm 200µm  
40nm 2x1阵列,100X1500µm Φ3mm 200µm 
 20nm 3x3阵列,窗口100X100µm Φ3mm 200µm  
40nm 3x3阵列,窗口100X100µm Φ3mm 200µm 
 8nm 窗口0.5x0.5mm,氮化硅薄膜200nm;24个网格,网格大小70x70µm Φ3mm 200µm 
18nm 窗口0.5x0.5mm,氮化硅薄膜200nm;24个网格,网格大小60x60µm Φ3mm 200µm 
40nm 窗口0.5x0.5mm,氮化硅薄膜200nm;24个网格,网格大小50x50µm Φ3mm 200µm 

  
优点:
   SEM应用中,薄膜背景不呈现任何结构和特点。 
   x-射线显微镜中,装载多个分析样的唯一方法。 
   无氮
 
应用:
氧化硅薄膜应用范围非常广,甚至有时使不可能变为可能,但所有应用都有无氮要求(因样本中有氮存在): 
● 惰性基片可用于高温环境下,通过TEM、SEM或AFM(某些情况下)对反应进行动态观察。 
● 作为耐用(如“强力”)基片,首先在TEM下,然后在SEM下对同一区域进行“匹配”。 
● 作为耐用匹配基片,对AFM和TEM图像进行比较。 
● 聚焦离子束(FIB)样本的装载,我们推荐使用多孔薄膜,而非不间断薄膜。 
 
氧化硅薄膜TEM网格操作使用:
如果正确操作,氧化硅薄膜将会拥有非常好的性能。相反,若用工具直接接触薄膜,则会即刻损坏薄膜。为防损坏,可用尖嘴镊子小心夹取,就像夹取其他TEM网格一样。  
 
使用前清洁:
    氧化硅薄膜窗格在使用前不需进行额外清洁。有时薄膜表面边角处会散落个别氧化物或氮化物碎片。由于单片网格需要从整个硅片中分离,并对外框进行打磨,因此这些微小碎片不可避免。尽管如此,我们相信这些碎片微粒不会对您的实验产生任何影响。 

    如果用户确实需要对这些碎片进行清理,我们建议用H2SO4 : H2O2 (1:1)溶液清洁有机物,用H2O:HCl: H2O2 (5:3:3)溶液清洁金属。 

    通常不能用超声波清洗器清洁薄膜,因超声波可能使其粉碎性破裂。 
 
 
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