探针,AFM探针,原子力显微镜探针,veeco探针,Bruker探针探针的工作模式:主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式
探针的结构:悬臂梁+针尖
探针针尖曲率半径Tip Radius:一般为10nm到几十nm。
制作工艺:半导体工艺制作常见的探针类型:
1. 导电探针(电学):金刚石镀层针尖,性能比较稳定
2 .压痕探针:金刚石探针针尖(分为套装和非套装的)
3. 氮化硅探针:接触式(分为普通的和锐化的)
4. 磁性探针:应用于MFM,通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备
5. 电化学探针(STM): 电学接触式和电学轻敲式
6. FIB大长径比探针:测半导体结构,专为测量深的沟槽(深孔)以及近似铅垂的侧面而设计生产的。Popular Probes & Applications
Application: High resolution topographical imaging of a wide variety of samples.
Probe Model: TESP, RTESP, OTESPA , NCHV, VL300
Specifications: 40 N/m, 300 kHz
AFM Mode: TappingApplication: High resolution imaging for softer samples (Polymers, biological, and thin films)
Probe Model: FESP, RFESP, OLTESPA, FMV, VLFM
Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz
AFM Mode: Tapping or Force ModulationApplication: Magnetic and electrical measurements.
Probe Model: MESP, SCM-PIT, OSCM-PT, SCM-PIC
Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz
AFM Mode: MFM, EFM, SCM, Conductive AFM / TUNAApplication: Liquid Imaging, Force Measurement and pulling, Contact mode imaging in air
Probe Model: MSCT, NP-S, OTR4, OBL
Specifications: .006-.58 N/m
AFM Mode: Contact or Tapping
模式 常用探针型号
接触模式
– ESP
– MPP-31100-10
– SNL-10
– DNP-10
– MLCT
– MSNL-10轻敲模式
空气 液体
– MPP-11100-10 (RTESP)
– TESP
– OTESPA
– FESP – SNL-10
– DNP-10
– MLCT
– MSNL-10峰值力轻敲模式
– ScanAsyst-Air
– ScanAsyst-Fluid
– ScanAsyst-Fluid+智能成像模式
– ScanAsyst-Air
– ScanAsyst-Fluid
– ScanAsyst-Fluid+
– ScanAsyst-Air-HR轻敲模式& 相位成像模式
– MPP-11100-10 (RTESP)
– TESP
– OTESPA
– FESP定量纳米力学性能测试模式
– MPP-11120-10 (RTESPA)
– MPP-12120-10
– MPP-13120-10
– PDNISP-HS
– ScanAsyst-Air磁力显微镜模式
– MESP
– MESP-HM
– MESP-LM
– MESP-RC静电力显微镜模式
– SCM-PIT
– MESP
– MESP-RC
– OSCM-PT峰值力隧道电流显微镜&导电原子力显微镜模式
– SCM-PIC
– SCM-PIT
– DDESP-FM
– PFTUNA更多探针信息,请咨询铂悦仪器,谢谢!
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