真空紫外光栅光谱仪

该系列光栅光谱仪主要应用于大约30nm至可见光区波段，部分型号的仪器可以将应用范围扩展到红外波段。光路设计主要以标准/改良型Czerny-Turner型、正入射型、Seya Namioka型为主，针对不同的实验需求做设计上的优化。

 除主机部分外，还提供各种周边附件，以构成各种完整的测量系统。

该系列的主要型号及主要技术参数

 波长范围
 光谱
分辨率 
 焦距长度 
 产品型号 
 扫描
 功能 
 多道
探测
 功能 
 光路结构 
 
30nm to 550nm  0.1nm 200mm  234/302 有 有  Corrected Concave Holographic  
105nm to 78µm  0.06nm 300mm  218  有  有  Criss Cross Czerny Turner  
105nm to 78µm  0.04nm 500mm  219  有  有  Corrected Czerny Turner  
30nm to 1200nm  0.04nm 500mm 235  有 有  Seya Namioka  
105nm to 78µm  0.03nm 670mm  207V 有  有  Czerny Turner  
105nm to 78µm  0.017nm 1000mm  2061V  有  有  Czerny Turner  
30nm to 1200nm   0.015nm 1000mm  225 有 有  Autofocus Normal Incidence  
30nm to 1200nm   0.025nm 1000mm  231 有  有  Seya Namioka  
105nm to 78µm   0.012nm 1330mm  209V  有  有 Czerny Turner  
30nm to 1200nm   0.007nm 2000mm 2252 有 有  Autofocus Normal Incidence   
30nm to 1200nm    0.005nm 3000mm  2253  有  有  Autofocus Normal Incidence  
30nm to 1200nm   <0.003nm  5000mm  2255  有  有  Autofocus Normal Incidence  
30nm to 1200nm   <0.0025 6500mm  265  有  有  Off Plane Eagle
Normal Incidence