ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 三靶小型离子溅射镀膜机

制造厂商介绍：
         北京意力博通技术发展有限公司, 是韩国COXEM公司在国内的合作伙伴，COXEM为国内电镜客户配套其物美价廉的小型溅射仪和蒸碳仪。意力博通是由中国科学院北京科学仪器厂的几位高级工程师创办，他们个人在扫描电镜、X射线能谱仪软件硬件方面的技术水平，在国内是顶级水平。最初意力博通主要业务是维修扫描电镜或者数字化升级改造国内外模拟型扫描电镜，能谱仪，包括帮助推广中科院上海硅酸盐所的专利技术扫描电声显微镜，以及代理德国布鲁克能谱仪，但国内市场情况不好，或者说可能这几位高级工程师并不擅长商业贸易。因此他们逐渐把精力放在有更大市场的小型离子溅射镀膜和蒸发镀膜设备的研发上，现在他们已经向国内客户提供了几百上千套各种功能的小型镀膜机，包括按照客户意愿定制的产品，最近两年，出口到发达国家也有几十台。意力博通的工程师，不断改进工艺提高产品可靠性，并按照客户需要，开发各种功能，并适时推出标准化产品。目前可以提供的标准化产品包括：

ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 离子溅射仪：依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。他相对于ETD-2000/3000的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备，及非导体材料实验电极制作。

配置参数如下：

 靶（上部电极）：直径：45mm，厚度：0.12mm
真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
样品台高度调节：手动调节
溅射面积： Ф45mm，三区域
 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
 离子电流表： 最大电流：50mA(100mA)
定时器： 最长时间：900S
微型真空气阀： 可连接φ3mm软管
可通入气体： 多种
 最高电压： -1600（-3000）DCV
机械泵： 2L/S
样品表面离子清洁（选配）
意力博通还提供以下服务：
维修或改造所有类型任何品牌的扫描电子显微镜(SEM)、数字图像和Si(Li)探测器。提供国产化能谱仪及改造X射线能谱仪等。