最重要的特性:
通过高水平的SEM和EDX硬件集成实现了快速、完全自动化的数据采集;
基于VEGA SEM平台;
新设计的样品台集成了BSE/EDX校正标准和法拉第杯;
根据客户的需求更改样品的尺寸;
最多集成4个EDX探测器确保系统的性能最高;
新的Peltier冷却型EDX探测器确保热稳定性;
改进的方法使数据分析既快又可靠;
根据样品的每个部分可调整扫描和EDX分析的时间;
离线数据处理;
各种各样的数据分析模块;
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