纯水水质:符合中国实验室用水规格GB6682-92三级水,电阻率≥0.2MΩ.cm@25℃
超纯水水质:电阻率>18.25 MΩ.cm@25℃,颗粒(>0.22μm)<1个/ml,微生物<1个CFU/ml,TOC:15ppb